Hintergrund des Kunden
Ein fabless Halbleiter-Unternehmen, das seine fortschrittliche Knoten-Chip-Produktion auslagert.Ihr bestehender Reinraum konnte nicht den strengen Anforderungen an Vibration und Luftreinheit für die 193nm-Eintauchlithographie entsprechen., wodurch Ertragsverluste entstehen.
Bedürfnisse und Herausforderungen
·ISO-Klasse 5 (Klasse 100) an der Waferoberfläche.
·Strenge Temperaturkontrolle: 22 ± 0,1 °C über den Fotolithographiebereich.
·Kurze Ausfallzeiten: Nur 1 Monat zur Nachrüstung des vorhandenen Bauges.
Die Lösung
·Mini-Environment-Design: Isolierte den Schritthalter mit Lüfterfilter-Einheiten (FFU) sowie chemischen Filtern für AMC. Erreicht ISO 4 innerhalb des Werkzeughülles.
·Aktive Vibrationsisolation: Beton Trägheitsblock + pneumatische Isolatoren, um die VC-D-Kriterien zu erfüllen.
·Hochgenaue HVAC: Doppelkühlwasserschleifen mit Wiedererwärmung sowie variable Luftvolumen- (VAV) -Terminals. Temperaturgleichheit gemessen bei ±0,08°C.
·Vorgefertigte Platten: Außendienstfertigung von Edelstahlplatten mit Cam-Lock-Gelenken, die während einer geplanten Wartungsabschaltung installiert werden, die in 25 Tagen abgeschlossen ist.
Kundenfeedback
Yaning hat unsere Werkzeuganforderungen besser verstanden als andere Cleanroom-Unternehmer.
¢ Betriebsleiter, Halbleiterkunden
Zusammenfassung
Yaning ist spezialisiert auf Reinraumtechnik und engagiert sich für saubere Produktionsumgebungen, die die Produktionseffizienz direkt steigern.Unsere modularen Lösungen sind eine ideale Wahl für saubere Produktionszonen im verarbeitenden Gewerbe.
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